微型光機電系統(tǒng) 文章進入微型光機電系統(tǒng)技術社區(qū)

發(fā)展中的MOEMS壓力傳感器

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微型光機電系統(tǒng)介紹

　　微型光機電系統(tǒng)的英文縮寫是“MOEMS”，它是微光學、微電子、微機械的結合產生出一類新的應用范圍很廣的器件。MOEMS日益成為新的光學工具，已經對許多基于光學的儀器顯示出應用前景?！　?959年，1965年諾貝爾物理學獎獲得者Richard P Feynman提出微型機械的構想?！　?962年，硅微型壓力傳感器問世，之后50～500微米的齒輪，齒輪泵，氣動渦輪及聯(lián)接件等微系統(tǒng)問世?！　?966 [ 查看詳細 ]

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