光學缺陷檢測 文章 進入光學缺陷檢測技術社區(qū)
KLA發(fā)布全新缺陷檢測與檢視產品組合
- 加利福尼亞州米爾皮塔斯，2019年7月9日- KLA公司（納斯達克股票代碼：KLAC）今日發(fā)布392x和295x光學缺陷檢測系統(tǒng)和eDR7380?電子束缺陷檢視系統(tǒng)。這些全新的檢測系統(tǒng)是我們公司旗艦產品系列——圖案晶圓平臺的進一步拓展，其檢測速度和靈敏度均有提升，代表了光學檢測的新水準。全新電子束檢視系統(tǒng)的創(chuàng)新使其自身價值進一步穩(wěn)固，并成為缺陷和發(fā)現其產生根源之間的必要一環(huán)。對于領先的3D NAND、DRAM和邏輯集成電路（IC），該產品組合將縮短整個產品周期，加快其上市時間?！盀榱擞欣麧櫟刂圃煜乱淮鷥却?/li>
- 關鍵字： KLA 光學缺陷檢測 eDR7380?電子束缺陷檢
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光學缺陷檢測介紹
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