垂直納米環(huán)柵晶體管 文章 進(jìn)入垂直納米環(huán)柵晶體管技術(shù)社區(qū)
微電子所在新型垂直納米環(huán)柵器件研究中取得突破性進(jìn)展
- 垂直納米環(huán)柵晶體管是集成電路2納米及以下技術(shù)代的主要候選器件，但其在提高器件性能和可制造性等方面面臨著眾多挑戰(zhàn)。在2018年底舉辦的國際集成電路會議IEDM上，來自IMEC的Ryckaert博士1將垂直納米器件的柵極長度及溝道與柵極相對位置的控制列為關(guān)鍵挑戰(zhàn)之一。
- 關(guān)鍵字： 微電子所 垂直納米環(huán)柵晶體管 集成電路
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垂直納米環(huán)柵晶體管介紹
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