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一種增大質量塊的三軸MEMS加速度計的設計

- 馮?堃,張國俊,王姝婭,戴麗萍,鐘志親(電子科技大學?電子科學與工程學院,成都611731) 摘?要:介紹了一種增大質量塊設計的三軸MEMS加速度計。該加速度計基于絕緣體上硅(SOI)硅片,采用雙面光刻、干法刻蝕的工藝,利用了部分SOI硅片的底層硅部分來增大加速度計的質量塊,設計了基于單一米字形質量塊的三軸MEMS電容式微加速度計。根據(jù)不同的外界加速度對器件產(chǎn)生的不同位移,研究了在三個軸向的加速度計的靈敏度,同時分析了加速度計的交叉軸耦合的影響。最后結合Ansys仿真結果得出:所設計的微加速度計具有
- 關鍵字: 202005 微機械系統(tǒng) 三微加速度計 高靈敏度 絕緣體上硅
復雜射頻干擾環(huán)境下的高靈敏度GPS系統(tǒng)設計
- 電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡家園
- 關鍵字: 射頻干擾 高靈敏度 GPS系統(tǒng) 低噪聲放大器
數(shù)字基帶芯片揭秘:高靈敏度接收機跟蹤環(huán)路設計
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- 關鍵字: 高靈敏度 接收機跟蹤 環(huán)路設計
高靈敏度接收機跟蹤環(huán)路設計
- 摘要:基于GPS/BD兼容高靈敏度導航產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目,對經(jīng)典載波跟蹤環(huán)進行修改,設計實現(xiàn)了高靈敏度跟蹤環(huán)路 ...
- 關鍵字: 高靈敏度 接收機 跟蹤環(huán)路
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