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半導體線寬檢測的首個ISO國際標準發(fā)布

  • 近日,國際標準化組織(ISO)正式發(fā)布了微束分析領域中的一項國際標準:“基于測長掃描電鏡的關鍵尺寸評測方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)),該標準由中國科學技術大學物理學院和微尺度物質(zhì)科學國家研究中心的丁澤軍團隊主導制定,是半導體線寬測量方面的首個國際標準,也是半導體檢測領域由中國主導制定的首個國際標準,
  • 關鍵字: 半導體  ISO國際標準  線寬檢測  

中國科大主導制定半導體線寬檢測的首個ISO國際標準

  • 近日,國際標準化組織(ISO)正式發(fā)布了微束分析領域中的一項國際標準:“基于測長掃描電鏡的關鍵尺寸評測方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)),該標準由中國科學技術大學物理學院和微尺度物質(zhì)科學國家研究中心的丁澤軍團隊主導制定,是半導體線寬測量方面的首個國際標準,也是半導體檢測領域由中國主導制定的首個國際標準,
  • 關鍵字: 半導體線寬檢測  ISO國際標準  
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iso國際標準介紹

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