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Point 35 Microstructures將氧化物釋放添加到MEMS制造系列

  •   全球微機電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)蝕刻和沉積設備供應商Point 35 Microstructures公司,今日在上海宣布推出汽相氧化物釋放蝕刻模塊,進一步擴展其微機電系統(tǒng)(MEMS) 單晶圓制造memsstar?產(chǎn)品系列。這項新增的技術將確保MEMS器件設計師得到更多的生產(chǎn)選擇,同時帶來了寬泛的制造工藝窗口和各種工藝控制等等好處,從而使良率得到了最大的提升。   SVR-vHF氧化物釋放模塊結合現(xiàn)有的memsstar? SVR-Xe 犧牲性汽相釋放(SVR)模塊,利用無水氫氟蒸汽(aH
  • 關鍵字: Point 35 Microstructures,SVR,MEMS  
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