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MEMS劃片技術(shù)的現(xiàn)狀與技術(shù)革新

　　0 引言　　MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。MEMS是一種全新的必須同時(shí)考慮多種物理場混合作用的研發(fā)領(lǐng)域，相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械，它們的尺寸往往在微米和亞微米量級(jí)。制造上主要采用以Si為主的材料、集成電路(IC)的加工技術(shù)，可以在Si片指定位置上進(jìn)行蝕刻或生長附加材料層，從而形成一個(gè)特殊的功能結(jié)構(gòu)。MEMS芯片有的帶有腔體和薄膜、有的帶有懸梁，這些微機(jī)械結(jié)構(gòu)容易因機(jī)械接觸而損
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嵌入式微型投影顯示技術(shù)前景廣闊

　嵌入式微型投影顯示以實(shí)際手機(jī)產(chǎn)品模型的形式，在2008年美國拉斯維加斯國際消費(fèi)電子大展(2008CES)上正式亮相，它很快就引起了移動(dòng)通信與便攜多媒體以及數(shù)字顯示等相關(guān)技術(shù)行業(yè)的強(qiáng)烈反響，業(yè)界很快認(rèn)同迷你投影這一新型的嵌入式模組技術(shù)，為各類數(shù)字移動(dòng)多媒體和通信系統(tǒng)技術(shù)和產(chǎn)品提供了全新的便攜顯示平臺(tái)。　　移動(dòng)電子終端最佳輔助功能　 2008CES展后，包括諾基亞、三星和摩托羅拉在內(nèi)的全球主要手機(jī)制造廠商相繼宣稱，計(jì)劃2008
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遙控車門開關(guān)的安全系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　RKE系統(tǒng)對(duì)于提高汽車的防盜性、控制性有重要意義。大多數(shù)RKE系統(tǒng)具有汽車防盜、報(bào)警功能以及用于汽車、行李箱的門禁控制,其中一些系統(tǒng)還包括遙控啟動(dòng)汽車和汽車尋找的功能。新一代RKE有望采用雙向通信,安裝在汽車內(nèi)遙控車門開關(guān)PKE(Remote Keyless Entry)方案對(duì)于汽車的配置來說,已經(jīng)作為一種標(biāo)準(zhǔn)配置,成為汽車不可或缺的部分。RKE系統(tǒng)對(duì)于提高汽車的防盜性、控制性有重要意義。大多數(shù)RKE系統(tǒng)具有汽車防盜、報(bào)警功能以及用于汽車、行李箱的門禁控制,其中一些系統(tǒng)還包括遙控啟動(dòng)汽車和汽車尋找的功
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ADI公司推出最新基于MEMS的振動(dòng)傳感器

　　Analog Devices, Inc.（紐約證券交易所代碼: ADI），全球領(lǐng)先的高性能信號(hào)處理解決方案供應(yīng)商，最新推出一款寬帶寬的MEMS振動(dòng)傳感器ADXL001，可以更好的監(jiān)控工廠設(shè)備性能，縮短因不可預(yù)測的系統(tǒng)故障造成的高成本宕機(jī)時(shí)間。ADXL001工業(yè)振動(dòng)與沖擊傳感器基于ADI公司的iMEMS Motion Signal Processing™（運(yùn)動(dòng)信號(hào)處理）技術(shù)，使工業(yè)過程控制儀器設(shè)計(jì)人員采用簡單的傳感器解決方案就可實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比、高性能且可靠的寬帶振動(dòng)監(jiān)控。　　在當(dāng)今工廠環(huán)境
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高集成度促傳感器市場日益數(shù)字化

　　模擬還是數(shù)字？在工業(yè)化測量和控制領(lǐng)域，這還存在爭執(zhí)。盡管問題很簡單，并且有越來越多的數(shù)字化產(chǎn)品，但仍然很難下結(jié)論。　　傳感器設(shè)備集成了越來越多的數(shù)字化電路和接口。一些控制領(lǐng)域的應(yīng)用，要求很多不同的輸入以及多變量的處理。這些復(fù)雜的要求只有數(shù)字電路應(yīng)付得過來。然而，在另一些應(yīng)用中，模擬依舊占主導(dǎo)地位。　　傳感器提供了數(shù)字輸出信號(hào)，這需要內(nèi)部具備集成的電路，如ADC以及串行器。因?yàn)橹圃旆绞较嗤?，所需材料相同，基于MEMS的傳感器非常適合數(shù)字化。　　歐洲Measurement Specialtie
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消費(fèi)應(yīng)用將成為MEMS首要市場封裝技術(shù)亟須完善

　　從2007年到2012年，MEMS市場的年復(fù)合增長率將達(dá)到14%。為了滿足市場需求，MEMS企業(yè)和Foundry（晶圓代工廠）都在提高生產(chǎn)制造水平，擴(kuò)大自己的產(chǎn)能。而MEMS的制造也將從現(xiàn)在的5英寸和6英寸線向8英寸線轉(zhuǎn)移。意法半導(dǎo)體開始應(yīng)用其8英寸制造設(shè)施，歐姆龍、飛思卡爾等企業(yè)開始購買或建立8英寸MEMS生產(chǎn)線。　　MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）產(chǎn)品以前多被應(yīng)用到國防工業(yè)和汽車上，但在去年它被成功應(yīng)用到游戲機(jī)Wii上，而引起市場的廣泛關(guān)注。市場調(diào)研公司Yole預(yù)測，2008年，MEMS全球市場將達(dá)到7
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QMEMS為晶體元器件性能提升提供保障

移動(dòng)通信、數(shù)字消費(fèi)、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、汽車電子、機(jī)器人以及電子標(biāo)簽等等，這些托起半導(dǎo)體一個(gè)又一個(gè)發(fā)展波峰的應(yīng)用同樣成就了一個(gè)龐大的晶體元件市場。在日本，人們把半導(dǎo)體(IC)稱作“產(chǎn)業(yè)之米”，晶體元件則被當(dāng)作“產(chǎn)業(yè)之鹽”。鹽不但是調(diào)味品，也是人體必需的的物質(zhì)，晶體元件在電子器件中同樣不可缺。晶體元件用途廣泛根據(jù)Epson Toyocom公司的調(diào)查，2007年“產(chǎn)業(yè)之鹽”已經(jīng)形成了一個(gè)4510億日元（1美元兌換106日元）的巨大市
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Maxim推出用于DAB數(shù)字廣播和T-DMB移動(dòng)TV的RF調(diào)諧器

　　Maxim推出三頻段、雙模式移動(dòng)TV和數(shù)字廣播RF調(diào)諧器MAX2170E/W，提供經(jīng)過完備的RF測試的裸片。在TQFN封裝的MAX2170ETL成功應(yīng)用的基礎(chǔ)上，MAX2170E/W能夠支持地面數(shù)字多媒體廣播(T-DMB)和超小型數(shù)字音頻廣播(DAB)模塊的系統(tǒng)級(jí)封裝(SIP)方案。　　除了某些應(yīng)用所需的晶體和L波段濾波器之外，MAX2170E/W包含了構(gòu)建低IF TV/廣播調(diào)諧器所需的所有模塊。該調(diào)諧器采用最少的外圍元件，即可接收VHF-III頻段、L波段和FM廣播。MAX2170E/W集成了低
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飛思卡爾推出全球首款50V LDMOS功率晶體管

　　飛思卡爾半導(dǎo)體近日揭開了全球首款適用于L波段雷達(dá)應(yīng)用的50V LDMOS RF功率晶體管產(chǎn)品的神秘面紗。這一產(chǎn)品線非常適合于各種高功率RF應(yīng)用，包括空中交通管理和長射程氣象雷達(dá)。? 　　RF產(chǎn)品線包括MRF6V14300H后期器件和MRF6V10010N驅(qū)動(dòng)。當(dāng)頻率在1200 － 1400 MHz之間時(shí)， MRF6V14300H生成330 W的RF脈沖輸出功率；與競爭性雙極場效晶體管（FET）器件相比，它重新設(shè)立了該功率和頻率級(jí)的新的效率、增益和熱阻標(biāo)準(zhǔn)。? 　　先進(jìn)的RF功率
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ZigBee定位解決方案

引言　　設(shè)想一下，您沖進(jìn)購物中心，急切地想為您的另一半選購他(她)稱心如意的生日禮物。您很自然地掏出手機(jī)或 PDA 來解決如何選購生日禮物的問題。此時(shí)，您的移動(dòng)手持終端設(shè)備將顯示出購物中心的導(dǎo)購圖，并在圖上標(biāo)明需前往的采購區(qū)。移動(dòng)手持終端設(shè)備上還將隨時(shí)隨地顯示出您可能會(huì)感興趣的商品。　　射頻 (RF) 技術(shù)有望使上述設(shè)想成為現(xiàn)實(shí)。有些ZigBee RF 設(shè)備中內(nèi)嵌的定位引擎可以與室內(nèi) GPS 系統(tǒng)相媲美，其內(nèi)嵌的定位引擎使用 ZigBee 網(wǎng)絡(luò)的 RF 基礎(chǔ)設(shè)施來計(jì)算事物或人所處的位置。與 GPS
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傳感器/ASIC集成縮小電流變送器體積

　　電力電子的發(fā)展趨勢與其他電子領(lǐng)域的發(fā)展趨勢沒有什么不同——更大規(guī)模集成加降低元件數(shù)量。但是，由于電力電子系統(tǒng)中存在散熱器、磁性元件與線圈等元件，使高水平集成更加困難。微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）已在檢測系統(tǒng)得到應(yīng)用，并可能應(yīng)用于系統(tǒng)的其他部分。　　傳統(tǒng)的電流變送器不適合于家電產(chǎn)品和空調(diào)系統(tǒng)市場，因?yàn)樗鼈凅w積太大、價(jià)格高昂。而一種成本較低、體積較小的變送器則使得測量這些系統(tǒng)的電流成為可能，唯一受到的限制是漏電、間隙和絕緣等級(jí)等外界因素。　　用于LEM自己的LTS電流變送器的應(yīng)用
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纖巧型放大器可快速驅(qū)動(dòng)重電容性負(fù)載

對(duì)于一個(gè)采用±5V工作電源的運(yùn)算放大器，假設(shè)電容性負(fù)載在0V條件下起動(dòng)并以最大電流進(jìn)行充電，則峰值功率為...
關(guān)鍵字：電容性反饋放大器放大器電路快速驅(qū)動(dòng) 熱特性驅(qū)動(dòng)能力負(fù)載時(shí) 轉(zhuǎn)換速率 RF 電阻器

一只輪胎引爆的汽車安全MEMS傳感器熱潮

　　　　下一代汽車安全系統(tǒng)傳感器有望是一種一體化的傳感器系統(tǒng)，它采用公共信號(hào)來操作多個(gè)系統(tǒng)。　　因?yàn)榇嬖诒ル[患，2000年8月普瑞斯通公司宣布召回650萬條裝配于福特生產(chǎn)的SUV車上的輪胎，這一事件已經(jīng)促使美國政府立法，強(qiáng)制性要求自2007年9月起后出廠的每一臺(tái)輕型車均需安裝胎壓監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS)。此外，美國還宣布到2012年全部新車必須使用防側(cè)翻的“電子穩(wěn)定控制技術(shù)”，以減少每年因車輛側(cè)翻造成死亡的人數(shù)。???? 　　根據(jù)
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模擬半導(dǎo)體今年不會(huì)“冷” 速度更快功耗更低

　　最近有許多有關(guān)模擬方面的重大新聞，如美國開始研究需要用無線的方式將電能傳輸?shù)降厍虻目罩刑柲艿拈_發(fā)利用，還有MEMS振蕩器取得了突破性進(jìn)展等等，這些都激勵(lì)我關(guān)注新的一年中模擬產(chǎn)品的發(fā)展趨向。雖然從各個(gè)方面?zhèn)鱽淼男畔砜?，今年的半?dǎo)體市場不怎么樂觀，但很多公司和預(yù)測機(jī)構(gòu)卻調(diào)高了對(duì)模擬半導(dǎo)體的預(yù)期，認(rèn)為今年的模擬IC將會(huì)獲得不俗的發(fā)展。這些趨勢似乎從大型IC廠商的行動(dòng)中也能尋得一點(diǎn)蛛絲馬跡，如，TI在前不久加大在模擬領(lǐng)域的研發(fā)投入和宣傳攻勢，ADI出售數(shù)字業(yè)務(wù)，而將經(jīng)歷集中于其核心的模擬業(yè)務(wù)。　　模擬
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步態(tài)加速度信號(hào)的無線采集系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　步態(tài)，即人走路的姿勢。作為一種生物特征，它具有不受距離影響、非侵犯性、難以偽裝、受環(huán)境影響小等獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，因而近年來備受關(guān)注。國內(nèi)外的許多知名大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)，如美國麻省理工學(xué)院、中國科學(xué)院自動(dòng)化研究所等，都廣泛展開了步態(tài)識(shí)別研究工作。步態(tài)的獨(dú)特性為人的身份識(shí)別和認(rèn)證提供了有效線索，對(duì)醫(yī)療上的異步病態(tài)、偏癱等疾病的預(yù)防、診斷和康復(fù)也可以起到很顯著的輔助作用。而且，在現(xiàn)代化的體育訓(xùn)練中，也可以通過步態(tài)特征來監(jiān)測運(yùn)動(dòng)員的體能消耗情況、動(dòng)作準(zhǔn)確程度等，制定科學(xué)的訓(xùn)練方案。此外，步態(tài)在機(jī)器人的行走、人的行為理解
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