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應用材料公司推出全新SEMVision G4缺陷再檢測系統(tǒng)
- 近日,應用材料公司推出最先進的缺陷再檢測SEM(掃描電子顯微鏡)SEMVision™ G4系統(tǒng),它將應用材料公司非常成功的SEMVision系統(tǒng)的技術和生產能力提升到45納米及更小的技術節(jié)點。SEMVision G4系統(tǒng)的關鍵在于全新的SEM聚焦離子槍技術和增強的多視角SEM成像系統(tǒng)(MPSI),他們具有卓越的2納米物理精度,能提供無與倫比的成像質量,其每秒一個缺陷的檢測速度也設定了新的基準。 應用材料公司工藝診斷和控制事業(yè)部SEM部門總經理Ronen Benzion表示:“45納米
- 關鍵字: 測試 測量 應用材料 EMVision G4 SEM 測量工具
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