4月29日晚間，北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（北方華創(chuàng)）正式公布了2023年年度財報及2024年一季度財報。其中一季度營收高于之前預告（54.2億元至62.4億元）的中間值，凈利潤則超出了之前預告（10.4億元至12億元）的上緣。

北方華創(chuàng)2023年實現(xiàn)營業(yè)收入220.79億元，同比增長50.32%，創(chuàng)公司業(yè)績歷史新高；歸母凈利潤38.99億元，同比增長65.73%；扣非凈利潤35.81億元，同比增長70.05%。

北方華創(chuàng)表示，公司營業(yè)收入比上年同期增長的主要原因是公司主營業(yè)務發(fā)展良好，應用于集成電路領域的刻蝕、薄膜沉積、清洗和爐管等數(shù)十種核心工藝裝備市場認可度持續(xù)提升，工藝覆蓋度及市場占有率顯著增長，產(chǎn)品銷量同比大幅度增加。凈利潤及扣非凈利潤增長的主要原因是，公司在收入增長的同時，持續(xù)推動降本增效工作取得顯著成果，多元化供應鏈保障能力不斷增強，量產(chǎn)交付水平有效提升，規(guī)模效應逐步顯現(xiàn)，費用率穩(wěn)定下降，綜合導致歸屬于上市公司股東凈利潤的增長。

從具體的產(chǎn)品線表現(xiàn)來看：

1、半導體設備

（1）刻蝕設備

刻蝕設備約占集成電路芯片制造設備總資本開支的 22%，是半導體制造過程中的關鍵環(huán)節(jié)?？涛g工藝主要用于去除特定區(qū)域的材料來形成微小的結(jié)構(gòu)和圖案。隨著集成電路線寬的持續(xù)減小和 3D集成電路的發(fā)展，刻蝕設備在集成電路裝備市場中的地位愈加重要，已躍居集成電路采購額最大的設備類型。2023 年公司刻蝕設備收入近 60 億元。

其中，在電感耦合等離子體刻蝕機（ICP）方面，公司多晶硅及金屬刻蝕系列 ICP設備實現(xiàn)規(guī)模化應用，完成了淺溝槽隔離刻蝕、柵極掩膜刻蝕等多道核心工藝開發(fā)和驗證，助力國內(nèi)主流客戶技術通線，已實現(xiàn)多個客戶端大批量量產(chǎn)并成為基線設備。截至 2023年底，北方華創(chuàng) ICP刻蝕設備已累計出貨超 3200腔。

在電容耦合等離子體（CCP）介質(zhì)刻蝕設備方面，北方華創(chuàng)CCP 介質(zhì)刻蝕設備實現(xiàn)了邏輯、存儲、功率半導體等領域多個關鍵制程的覆蓋，為國內(nèi)主流客戶提供了穩(wěn)定、高效的生產(chǎn)保障，贏得客戶信賴和認可。截至 2023 年底，北方華創(chuàng) CCP 刻蝕設備已累計出貨超 100 腔。

在硅通孔技術（ TSV ）刻蝕設備方面，目前北方華創(chuàng)的 TSV 刻蝕設備已廣泛應用于國內(nèi)主流 Fab 廠和先進封裝廠，是國內(nèi) TSV 量產(chǎn)線的主力機臺，市占率領先。

在干法去膠又稱等離子去膠設備方面，北方華創(chuàng)憑借深厚的等離子源開發(fā)及應用經(jīng)驗，自主設計開發(fā)了低損傷等離子源，克服了 O2、H2、NH3 等去膠的各種技術難點，在高劑量離子注入后的去膠、新型材料去膠、高深寬比聚合物去除等方面取得了技術領先優(yōu)勢。同時，優(yōu)化了干法去膠設備在維護、量產(chǎn)方面的性能，開發(fā)了真空和大氣雙配置傳輸平臺，在保證技術領先的同時，使客戶擁有更長的使用周期及更低的擁有成本（COO）、消耗成本（COC），受到客戶廣泛認可，形成了批量銷售。

（2）薄膜沉積設備

薄膜沉積設備約占集成電路裝備總資本開支的 21%，是半導體制造工藝中的關鍵環(huán)節(jié)。薄膜沉積設備主要用于在基底材料上生長、沉積或涂布極薄的膜層，這些膜層在芯片中扮演重要的角色。2023 年公司薄膜沉積設備收入超 60 億元。

其中，主要用于金屬薄膜制備的物理氣相沉積（PVD）設備方面，截至 2023 年底，公司已推出 40 余款 PVD 設備，累計出貨超 3500 腔。

在主要用于介質(zhì)薄膜和金屬薄膜制備的化學氣相沉積（CVD）設備方面，截至 2023 年底，北方華創(chuàng)已實現(xiàn) 30 余款 CVD 產(chǎn)品量產(chǎn)應用，為超過 50 家客戶提供技術支持，累計出貨超 1000 腔。

在材料生長的關鍵設備——外延（EPI）設備方面，截至 2023 年底，北方華創(chuàng)已發(fā)布 20 余款量產(chǎn)型外延設備，累計出貨超 1000 腔。 公司自主研發(fā)的 12 英寸常壓硅外延設備，實現(xiàn)了對邏輯芯片、存儲芯片、功率器件及特色工藝的全覆蓋，且已全部成功量產(chǎn)，成為客戶的基線產(chǎn)品。

（3）立式爐及清洗設備

立式爐和清洗設備分別約占集成電路裝備總資本開支的 5%，在集成電路工藝生產(chǎn)線上發(fā)揮著關鍵作用。立式爐主要包括立式氧化/退火爐、多片立式低壓化學氣相沉積設備（LPCVD）和多片立式原子層沉積設備（ALD）。清洗設備主要包括單片清洗設備和槽式清洗設備。2023 年公司立式爐和清洗設備收入合計超 30 億元。

在立式爐領域，北方華創(chuàng)突破并掌握了氣流場/溫度場控制、反應源精密輸送、硅片表面熱場設計等關鍵技術，實現(xiàn)了立式爐系列化設備在邏輯和存儲工藝制程應用的全面覆蓋。截至 2023 年底，公司立式爐累計出貨超 700 臺。

在清洗設備領域，北方華創(chuàng)經(jīng)過多年的技術積累，先后突破了多項關鍵模塊設計技術和清洗工藝技術，包括伯努利卡盤和雙面工藝卡盤、高效率藥液回收系統(tǒng)、熱 SPM 工藝、熱磷酸工藝、低壓干燥工藝等，實現(xiàn)了槽式工藝全覆蓋，同時高端單片工藝實現(xiàn)突破。公司在集成電路領域的工藝設備均已在客戶端實現(xiàn)量產(chǎn)。截至 2023 年底，公司清洗設備累計出貨超1200 臺。

（4）新能源光伏領域設備

在新能源光伏領域，公司晶硅電池制造設備實現(xiàn)了多項技術突破，建立了行業(yè)領先的技術優(yōu)勢。擴散設備工藝性能表現(xiàn)突出，具有高產(chǎn)出、高效能、高穩(wěn)定性的特點；PECVD 設備覆蓋多種電池技術； LPCVD 設備實現(xiàn)了大尺寸硅片兼容和高載片量的突破。目前，公司在 PERC、TOPCon、HJT 等領域?qū)崿F(xiàn)了擴散、氧化、退火類設備的全覆蓋，為光伏行業(yè)提供了更為專業(yè)、高效、先進、低成本的解決方案。截至 2023 年底，公司光伏領域設備累計出貨超過 4000 臺，實現(xiàn)頭部客戶全覆蓋，并出口越南、泰國、新加坡、馬來西亞等地，成為光伏行業(yè)領先的解決方案提供商。2023 年公司新能源光伏領域設備收入近 20 億元。

2、真空及鋰電工藝裝備

真空裝備作為基礎材料制造業(yè)的工業(yè)母機，在多個領域發(fā)揮著重要作用。公司深耕高壓、高溫、高真空技術，研發(fā)的真空熱處理、氣氛保護熱處理、連續(xù)式熱處理、磁控濺射鍍膜、多弧離子鍍膜、硅單晶生長等高端熱處理工藝裝備，廣泛應用于真空電子、半導體材料、儲能材料、磁性材料、碳碳復材、碳陶材料等領域，為行業(yè)提供高效、節(jié)能、環(huán)保的真空及鋰電裝備工藝解決方案。

（1）真空爐

北方華創(chuàng)緊跟新能源的技術發(fā)展方向，圍繞先進陶瓷領域，根據(jù)氮化鋁、氮化硅、碳化硼、高純氧化鋁等先進陶瓷制備工藝需求，針對性開發(fā)了產(chǎn)業(yè)鏈相關的 13 種工藝設備，豐富了公司真空產(chǎn)品線。真空熱處理工藝設備在半導體行業(yè)的關鍵零部件、分立器件等制造領域均實現(xiàn)廣泛應用，其中氣淬爐已通過客戶工藝驗證，高純 SiC 部件用滲硅爐、重結(jié)晶爐通過客戶工藝驗證并實現(xiàn)銷售，AMB 基覆銅板釬焊爐及氧化鋁 HTCC 燒結(jié)爐已實現(xiàn)批量銷售。此外，北方華創(chuàng)結(jié)合客戶需求，開發(fā)了應用于光伏行業(yè)高溫材料制備的連續(xù)石墨化爐， 目前在碳碳、碳陶等領域已實現(xiàn)批量應用。

（2）單晶爐

針對光伏行業(yè)低成本、大產(chǎn)能需求，北方華創(chuàng)研發(fā)了連續(xù)拉晶系統(tǒng)（CCZ），可有效減小加料和熔料時間，顯著降低單晶圓棒非硅成本，同時具有晶棒電阻率范圍窄且可控的優(yōu)點。結(jié)合客戶實際生產(chǎn)運行情況，北方華創(chuàng)開發(fā)了不同尺寸的硅單晶生長爐，在行業(yè)頭部客戶累計銷售硅單晶爐超過 5000 臺。同時，北方華創(chuàng)為客戶提供最優(yōu)的能耗解決方案，主導制定了《單晶爐能源消耗規(guī)劃》行業(yè)標準，為全行業(yè)提供了單晶爐生產(chǎn)能耗的量化標準。

（3）工業(yè)鍍膜設備

工業(yè)鍍膜設備包括工業(yè) PVD 鍍膜設備和工業(yè) CVD 鍍膜設備。北方華創(chuàng)圍繞新能源電池新型材料，設計開發(fā)了新一代復合集流體高速卷繞 PVD 鍍膜設備，解決鋰電池下一代復合集流體的批量制備難題。針對氫燃料電池領域，采用多弧技術，開發(fā)了雙極板連續(xù)立式 PVD 鍍膜設備；針對各種 PVD 工藝的測試與客戶工藝驗證，開發(fā)了多弧、蒸鍍、磁控濺射為一體的多功能工藝測試平臺，為各類功能涂層制備奠定了基礎。同時，圍繞半導體設備關鍵零部件的制備，北方華創(chuàng)研發(fā)了重結(jié)晶碳化硅結(jié)構(gòu)件的 CVD 工藝技術，開發(fā)碳化硅纖維增強、碳化硅復合材料的工業(yè) CVD 設備，為新一代陶瓷基復合材料領域提供解決方案。

3．精密電子元器件

在高端精密電子元器件領域，公司主要產(chǎn)品為電源管理芯片、石英晶體器件、石英微機電傳感器、高精密電阻器、鉭電容器、微波組件等。公司將現(xiàn)有工藝與半導體工藝相結(jié)合研制新產(chǎn)品，拓展新應用。新開發(fā)的模擬鏈路產(chǎn)品，采用國內(nèi)先進半導體工藝制程，結(jié)合先進塑封技術和高可靠金屬陶瓷封裝技術，具有產(chǎn)品種類覆蓋寬、適用面廣、寬溫度適應性和高可靠等優(yōu)勢，主要應用于通信、交通及電力等領域，在信號處理中有著無可替代的作用。新開發(fā)的硅電容器，采用半導體 MOS 工藝和微機電系統(tǒng)（MEMS）工藝相結(jié)合的技術，具有小型化、集成化、高精密的特點，主要應用于通信、射頻微波、2.5D/3D 先進封裝、汽車電子等領域，在天線匹配、射頻濾波等電路中具有突出優(yōu)勢。

2023年研發(fā)費用同比增長34.14%，累計專利申請量已超7900件

值得一提的是，在2023年，北方華創(chuàng)的研發(fā)費用達24.75億元，同比增長34.14%。截至 2023 年底，公司已累計申請專利 7,900 余件，獲得授權(quán)專利 4,700 余件，體現(xiàn)了公司在半導體基礎產(chǎn)品領域的深厚技術積淀和強大的創(chuàng)新能力。特別是在集成電路核心裝備領域，公司成功研發(fā)了多款具備自主知識產(chǎn)權(quán)的高端設備，已在多家客戶實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)，并獲得客戶的一致好評。同時，公司的核心產(chǎn)品廣泛應用于化合物半導體、新能源光伏、新型顯示等多個領域，展現(xiàn)出良好的市場前景和發(fā)展?jié)摿Α?/p>

2024年一季度凈利潤同比暴漲90.40%

北方華創(chuàng)2024年一季度營收58.59億元，同比增長51.36%；歸母凈利潤11.27億元，同比暴漲90.40%；基本每股收益為2.1245元，比上年同期增加 89.94%；稀釋每股收益為 2.1245元，比上年同期增加 90.06%。

與之前的2024年一季度業(yè)績預告相比，最終的營收高于之前預告的54.2億元至62.4億元的中間值，凈利潤則超出了之前預告的10.4億元至12億元的上緣，達到了11.27億元，可以說是超預期。

北方華創(chuàng)表示，一季度營收大漲的主要原因是：公司持續(xù)聚焦主營業(yè)務，精研客戶需求，深化技術研發(fā)，不斷提升核心競爭力，應用于集成電路領域的刻蝕、薄膜沉積、清洗和爐管等工藝裝備市場份額穩(wěn)步攀升。凈利潤及扣非凈利潤大漲的主要原因是：公司營收規(guī)模的持續(xù)擴大，同時規(guī)模效應逐漸顯現(xiàn)，成本費用率穩(wěn)定下降。

編輯：芯智訊-浪客劍