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首套EUV光刻機安裝完成,英特爾將在愛爾蘭Fab 34量產(chǎn)Intel 4制程

發(fā)布人:芯智訊 時間:2023-09-29 來源:工程師 發(fā)布文章

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9月29日消息,英特爾近日宣布,其位于愛爾蘭的Fab 34晶圓廠已經(jīng)完成了EUV(極紫外光)光刻設(shè)備的安裝測試工作,目前已經(jīng)正常開機,即將開始正式量產(chǎn)Intel 4制程技術(shù)。

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英特爾表示,將于當?shù)貢r間9月29日在現(xiàn)場舉行活動,慶祝Intel 4制程技術(shù)的量產(chǎn),公司高層人員也會參與,包括執(zhí)行長Pat Gelsinger、技術(shù)開發(fā)總經(jīng)理Ann Kelleher和營運長Keyvan Esfarjani等。屆時英特爾將介紹如何通過EUV技術(shù)達成生產(chǎn)和產(chǎn)品交貨的過程,引領(lǐng)其先進的產(chǎn)品生產(chǎn),進一步提供人工智能(AI)處理器到個人電腦,再到大型數(shù)據(jù)中心所使用的各類處理器。

據(jù)了解,2022年4月,英特爾Fab 34晶圓廠完成了第一套EUV微影曝光設(shè)備的安裝,這是歐洲首座具備EUV光刻技術(shù)的晶圓廠。過程中,大約有100多名ASML工程師到了Fab 34晶圓廠協(xié)助安裝,同時英特爾從美國派來了工程師,負責培訓Fab 34晶圓廠的員工如何使用EUV微影曝光設(shè)備機。之前,英特爾向ASML訂購了多套EUV光刻設(shè)備,這其中的第一套就是安裝在Fab 34晶圓廠。

另外,為在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠是于2019年開始動工,在2023年正式投產(chǎn)。英特爾曾表示,愛爾蘭晶圓廠是其全球晶圓廠擴建計劃的一部分,其是為了滿足全球半導體迅速成長的需求,同時也為英特爾的Intel 4制程技術(shù)量產(chǎn)鋪路。目前,英特爾計劃以Fab 34晶圓廠的intel 4制程技術(shù)來生產(chǎn)Meteor Lake和Granite Rapids等處理器。

編輯:芯智訊-林子


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